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●小形卓上バレル式は空気を反応ガスとして使用可能|●バレル型で等方性のため、チャンバ全体にプラズマが発生します。|●周波数の低い波長を使用しているのでソフトなプラズマのためダメージが少なく生化学系に最適です。|●操作が簡単でユーティリティーもありません。|●騒音、振動、有害ガスの発生もありません。
該当商品が1件あります。
| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
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| ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
| 詳細 | PM100 | 215015 | 内径φ100mm×L160mm | 幅310×奥行300×高さ448mm | 16kg | AC100V 10A（15A）（真空ポンプmax7A含む） | |
●小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで|●RFは200Wの高性能出力タイプ（PR200型）です。|●装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。|●同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。(PR200型）|●プラズマリアクター（アッシング装置）（PR200型）|●バレル型で等方性
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| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
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| ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
| 詳細 | PR200 | 215016 | 幅350×奥行400×高さ500mm | 25kg | AC100V 14A(15A) | ||
●小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで|●RFは200Wの高性能出力タイプ（PR200型）です。|●装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。|●同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。(PR200型）|●プラズマリアクター（アッシング装置）（PR200型）|●バレル型で等方性
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| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
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| ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
| 詳細 | PR300 | 215006 | 幅438×奥行520×高さ556mm | 36kg | AC100V 7A（15A） | ||
●小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで|●RFは200Wの高性能出力タイプ（PR200型）です。|●装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。|●同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。(PR200型）|●プラズマリアクター（アッシング装置）（PR200型）|●バレル型で等方性
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| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
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| ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
| 詳細 | PR301 | 215008 | 幅438×奥行520×高さ630mm | 34kg | AC100V 7A（15A） | ||
●バレル式高周波低温プラズマでウェハのレジストに|●大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備|●発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ|●操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）
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| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
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| ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
| 詳細 | PR500 | 215007 | 幅438×奥行520×高さ760mm | 60kg | AC100V 9A（15A） | ||
●バレル式高周波低温プラズマでウェハのレジストに|●大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備|●発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ|●操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）
該当商品が1件あります。
| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
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| ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
| 詳細 | PR510 | 215012 | AC200V 三相 8A（15A） | ||||
●研究開発に最適な小型タイプ|●RIEモード・DPモード（PDC510標準装備・PDC200/210オプション）を搭載しています。|●プラズマは均一性に優れた平行平板の電極構造を採用しています。|●操作が簡単なタッチパネル方式を採用し、データ取りも容易です。|●ゼロ点安定性真空計を搭載しています。
該当商品が3件あります。
| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
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| ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
| 詳細 | PDC200 | 328210 | 幅250×奥行170mm | 幅400×奥行250×高さ150mm | 幅540×奥行600×高さ600mm | 約100kg | 単相 AC100V 50/60Hz 10A（15A） 電源プラグは付属しません。 |
| 詳細 | PDC210 | 328211 | 幅250×奥行170mm | 幅400×奥行250×高さ150mm | 幅540×奥行600×高さ600mm | 約105kg | 三相 AC200V 50/60Hz 6A（16A） 電源プラグは付属しません。 |
| 詳細 | PDC510 | 215054 | 幅400×奥行20mm | 幅500×奥行300×高さmm | 幅700×奥行700×高さ1285mm | 約180kg | 三相 AC200V 8A（16A） 電源プラグは付属しません。 |
●多段式の小型卓上プラズマクリーナー|●最高出力600Wの小型高出力タイプです。|●ご注文時の指定によりRIE/DPモードが選択できます。|●ご注文時の指定により電極1段・2段・3段の選択ができます。|●縦型マガジン等の処理が可能です。|●オプションにより、データロガーの組み込みが可能です。|●オプションにより、マッチングポイント記憶機能が可能です。
該当商品が1件あります。
| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
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| ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
| 詳細 | PDC610 | 328216 | 幅350×奥行270×高さ300mm | 幅600×奥行722×高さ700mm | 三相 AC200 50/60Hz 15A 電源プラグは付属しません。 |
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●RIE・DPの両モードを搭載しています。|●V1000X型は独立型の2段電極の採用により、処理効率がアップします。|●プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能です。|●高精度マッチングユニット、信頼性の高いRF電源を採用しています。|●お客様のニーズに応じた仕様も制作可能です。ご相談ください。