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  5. 小型プラズマ装置 (高周波プラズマ装置) PR200

●小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで
●RFは200Wの高性能出力タイプ(PR200型)です。
●装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。
●同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。(PR200型)
●プラズマリアクター(アッシング装置)(PR200型)
●バレル型で等方性

ブランド名 ヤマトカガク
商品名 小型プラズマ装置 (高周波プラズマ装置)
型式 PR200
品番 215016
スペック ステージサイズ W×D×H:
チャンバーサイズ W×D×H:
外形サイズ W×D×H:幅350×奥行400×高さ500mm
質量:25kg
電源:AC100V 14A(15A)