ヤマト科学㈱ プラズマリアクター （手動制御方式） フローメータ仕様 PR500
●バレル式高周波低温プラズマでウェハのレジストに
●大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備
●発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ
●操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）
| ブランド名 | ﾔﾏﾄｶｶﾞｸ |
|---|---|
| 商品名 | プラズマリアクター （手動制御方式） フローメータ仕様 |
| 型式 | PR500 |
| 品番 | 215007 |
| スペック |
ステージサイズ W×D×H： チャンバーサイズ W×D×H： 外形サイズ W×D×H：幅438×奥行520×高さ760mm 質量：60kg 電源：AC100V 9A（15A） |