ヤマト科学㈱ プラズマリアクター （自動タッチパネル方式） マスフローメータ仕様 PR510
●バレル式高周波低温プラズマでウェハのレジストに
●大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備
●発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ
●操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）
| ブランド名 | ﾔﾏﾄｶｶﾞｸ |
|---|---|
| 商品名 | プラズマリアクター （自動タッチパネル方式） マスフローメータ仕様 |
| 型式 | PR510 |
| 品番 | 215012 |
| スペック |
ステージサイズ W×D×H： チャンバーサイズ W×D×H： 外形サイズ W×D×H： 質量： 電源：AC200V 三相 8A（15A） |