ヤマト科学㈱ 小型プラズマ装置 （高周波プラズマ装置） PR301
●小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで
●RFは200Wの高性能出力タイプ（PR200型）です。
●装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。
●同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。(PR200型）
●プラズマリアクター（アッシング装置）（PR200型）
●バレル型で等方性
| ブランド名 | ﾔﾏﾄｶｶﾞｸ |
|---|---|
| 商品名 | 小型プラズマ装置 （高周波プラズマ装置） |
| 型式 | PR301 |
| 品番 | 215008 |
| スペック |
ステージサイズ W×D×H： チャンバーサイズ W×D×H： 外形サイズ W×D×H：幅438×奥行520×高さ630mm 質量：34kg 電源：AC100V 7A（15A） |