●RIE・DPの両モードを搭載しています。
●V1000X型は独立型の2段電極の採用により、処理効率がアップします。
●プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能です。
●高精度マッチングユニット、信頼性の高いRF電源を採用しています。
●お客様のニーズに応じた仕様も制作可能です。ご相談ください。
| ブランド名 |
ﾔﾏﾄｶｶﾞｸ |
| 商品名 |
プラズマクリーナ |
| 型式 |
V1000XS |
| 品番 |
328214 |
| スペック |
ステージサイズ W×D×H：幅400×奥行375mm
チャンバーサイズ W×D×H：
外形サイズ W×D×H：
質量：
電源：
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