ヤマト科学㈱ プラズマドライクリーナー PDC510
●研究開発に最適な小型タイプ
●RIEモード・DPモード(PDC510標準装備・PDC200/210オプション)を搭載しています。
●プラズマは均一性に優れた平行平板の電極構造を採用しています。
●操作が簡単なタッチパネル方式を採用し、データ取りも容易です。
●ゼロ点安定性真空計を搭載しています。
ブランド名 | ヤマトカガク |
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商品名 | プラズマドライクリーナー |
型式 | PDC510 |
品番 | 215054 |
スペック |
ステージサイズ W×D×H:幅400×奥行20mm チャンバーサイズ W×D×H:幅500×奥行300×高さmm 外形サイズ W×D×H:幅700×奥行700×高さ1285mm 質量:約180kg 電源:三相 AC200V 8A(16A) 電源プラグは付属しません。 |