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検索結果　シリーズ／商品

ヤマト科学㈱
小型プラズマ装置 （高周波プラズマ装置）

●小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで|●RFは200Wの高性能出力タイプ（PR200型）です。|●装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。|●同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。(PR200型）|●プラズマリアクター（アッシング装置）（PR200型）|●バレル型で等方性

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
ステージサイズ W×D×H チャンバーサイズ W×D×H 外形サイズ W×D×H 質量 電源
詳細 PR301 215008 幅438×奥行520×高さ630mm 34kg AC100V　7A（15A）
ヤマト科学㈱
プラズマリアクター （手動制御方式）

●バレル式高周波低温プラズマでウェハのレジストに|●大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備|●発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ|●操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
ステージサイズ W×D×H チャンバーサイズ W×D×H 外形サイズ W×D×H 質量 電源
詳細 PR500 215007 幅438×奥行520×高さ760mm 60kg AC100V　9A（15A）
ヤマト科学㈱
プラズマリアクター （自動タッチパネル方式）

●バレル式高周波低温プラズマでウェハのレジストに|●大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備|●発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ|●操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
ステージサイズ W×D×H チャンバーサイズ W×D×H 外形サイズ W×D×H 質量 電源
詳細 PR510 215012 AC200V　三相 8A（15A）
ヤマト科学㈱
プラズマドライクリーナー

●研究開発に最適な小型タイプ|●RIEモード・DPモード（PDC510標準装備・PDC200/210オプション）を搭載しています。|●プラズマは均一性に優れた平行平板の電極構造を採用しています。|●操作が簡単なタッチパネル方式を採用し、データ取りも容易です。|●ゼロ点安定性真空計を搭載しています。

該当商品が3件あります。

詳細 型式 品番 スペック
ステージサイズ W×D×H チャンバーサイズ W×D×H 外形サイズ W×D×H 質量 電源
詳細 PDC200 328210 幅250×奥行170mm 幅400×奥行250×高さ150mm 幅540×奥行600×高さ600mm 約100kg 単相　AC100V　50/60Hz　10A（15A）
電源プラグは付属しません。
詳細 PDC210 328211 幅250×奥行170mm 幅400×奥行250×高さ150mm 幅540×奥行600×高さ600mm 約105kg 三相　AC200V　50/60Hz　6A（16A）
電源プラグは付属しません。
詳細 PDC510 215054 幅400×奥行20mm 幅500×奥行300×高さmm 幅700×奥行700×高さ1285mm 約180kg 三相　AC200V　8A（16A）
電源プラグは付属しません。
ヤマト科学㈱
プラズマドライクリーナ

●多段式の小型卓上プラズマクリーナー|●最高出力600Wの小型高出力タイプです。|●ご注文時の指定によりRIE/DPモードが選択できます。|●ご注文時の指定により電極1段・2段・3段の選択ができます。|●縦型マガジン等の処理が可能です。|●オプションにより、データロガーの組み込みが可能です。|●オプションにより、マッチングポイント記憶機能が可能です。

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
ステージサイズ W×D×H チャンバーサイズ W×D×H 外形サイズ W×D×H 質量 電源
詳細 PDC610 328216 幅350×奥行270×高さ300mm 幅600×奥行722×高さ700mm 三相　AC200　50/60Hz　15A
電源プラグは付属しません。
ヤマト科学㈱
プラズマクリーナ

●RIE・DPの両モードを搭載しています。|●V1000X型は独立型の2段電極の採用により、処理効率がアップします。|●プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能です。|●高精度マッチングユニット、信頼性の高いRF電源を採用しています。|●お客様のニーズに応じた仕様も制作可能です。ご相談ください。

該当商品が2件あります。

詳細 型式 品番 スペック
ステージサイズ W×D×H チャンバーサイズ W×D×H 外形サイズ W×D×H 質量 電源
詳細 V1000 328212 幅280×奥行280mm
詳細 V1000XS 328214 幅400×奥行375mm
リオン㈱
パーティクルカウンタ （光散乱方式）

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 KC-31 定格流量 28.3 L/min 約203mm 約5.5kg(バッテリ1個搭載時) 粒径区分(6段階)
0.3μm以上、0.5μm以上、1.0μm以上、
2.0μm以上、5.0μm以上、10.0μm以上		 約260mm
リオン㈱
ハンドヘルドパーティクルカウンタ

●ISO 21501-4（JIS B 9921）の基本性能を確保し、さまざまな清浄度管理に適します。|●粒径区分 0.3、0.5、1.0、2.0、5.0、10.0 μm|●リアルタイムおよび履歴のグラフ表示|●データインテグリティ対応|●改ざん防止のため、データをPDFで出力|●オーディットトレイルを搭載|●パスワードにより、権限レベル(管理者/使用者/ゲスト)を区別|●コミュニケーションドック(別売)を使用することで、USBメモリによるデータコピーおよび多点モニタリングシステムに対応（連続で運転させた場合、1年間の動作保証には対応しておりません。）

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 KC-52A 定格流量 2.83L/min 約307mm 約680g 0.3μm以上、0.5μm以上、1μm以上、2μm以上、5μm以上、10μmの6段階 約93mm
リオン㈱
ACアダプタ 国内専用品

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 KC523520
リオン㈱
USBケーブル(C-C)

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 59USB310
リオン㈱
キャリングケース

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 KC-52A用
リオン㈱
充電スタンド

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 KC-52A用
リオン㈱
プリンタ

●KC-51/52 専用

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 DPU-S245 約45mm 約280g 約83mm
リオン㈱
USBケーブル(C-miniB)

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 KC-52A用
リオン㈱
感熱記録紙(10巻入り)

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 TP-34
リオン㈱
無塵感熱記録紙(6巻入り)

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 TP-33
リオン㈱
パーティクルカウンタ KC-22A

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 KC-22A 約185mm 約7.5kg 0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上 約330mm
リオン㈱
パーティクルカウンタ KL-28BF

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 KL-28BF 約70mm 約0.6kg 0.2μm以上、0.5μm以上 約85mm
リオン㈱
パーティクルセンサKS-42A

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 KS-42A 125mm 約4kg 0.1μmおよび0.13μm～0.5μm
出荷時：0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上(オプションで1.0μmまで対応)		 240mm
リオン㈱
パーティクルセンサKS-42AF

該当商品が1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
吸引流量 高さ 質量 測定粒子径 幅
詳細 KS-42AF 125mm 約4kg 0.1μmおよび0.13μm～0.5μm
出荷時：0.1μm以上、0.15μm以上、0.2μm以上、0.3μm以上、0.5μm以上(オプションで1.0μmまで対応)		 240mm