検索結果 シリーズ/商品
![](/html/upload/save_image/急速加熱冷却オーブン DKG610_610V_650_650V_m.jpg)
●温度上昇時間、下降時間を従来型よりも50%以上改善し、処理タクトを短縮しました。|●本体前面の手動ダンパー操作による、給排気が連動した全排気方式の採用により、温度下降時間の大幅な短縮を実現しています。|●マガジンラック内の試料や大量の試料の処理に適した水平気流方式ですので、有負荷でも高精度の温度性能が得られます。|●扉パッキンにフッ素ゴムを使用するなどシリコンフリーを実現しました。(DKG610V/650V/810V/850V)|●マルチ電源対応として、200~220V対応の610/610V/810/810Vと、230~240V対応の650/650V/850/850Vをラインアップしました。
該当商品が4件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
外形寸法 幅 | 使用温度範囲 | 電源 | 内容積 | 本体寸法 奥行 | 本体寸法 高さ | 本体寸法 幅 | 有効寸法 奥行 | 有効寸法 高さ | 有効寸法 幅 | 安全装置 | |||
詳細 | DKG610 | 212884 | 室温+30℃~260℃ | 単相200~220V | 150L | 696 排気ダクト含む 846mm |
985mm | 770mm | 500mm | 500mm | 600mm | 自己診断機能(温度センサ異常、ヒータ断線、SSR短絡、自動過昇防止機能)、キーロック機能、プログラムロック、過昇防止器 漏電ブレーカ、ドアスイッチ、温度ヒューズ、外部警報端子 |
|
詳細 | DKG650 | 212886 | 室温+30℃~260℃ | 単相230~240V | 150L | 696 排気ダクト含む 846mm |
985mm | 770mm | 500mm | 500mm | 600mm | 自己診断機能(温度センサ異常、ヒータ断線、SSR短絡、自動過昇防止機能)、キーロック機能、プログラムロック、過昇防止器 漏電ブレーカ、ドアスイッチ、温度ヒューズ、外部警報端子 |
|
詳細 | DKG610V | 212885 | 室温+30℃~260℃ | 単相200~220V | 150L | 696 排気ダクト含む 846mm |
985mm | 770mm | 500mm | 500mm | 600mm | 自己診断機能(温度センサ異常、ヒータ断線、SSR短絡、自動過昇防止機能)、キーロック機能、プログラムロック、過昇防止器 漏電ブレーカ、ドアスイッチ、温度ヒューズ、外部警報端子 |
|
詳細 | DKG650V | 212887 | 室温+30℃~260℃ | 単相230~240V | 150L | 696 排気ダクト含む 846mm |
985mm | 770mm | 500mm | 500mm | 600mm | 自己診断機能(温度センサ異常、ヒータ断線、SSR短絡、自動過昇防止機能)、キーロック機能、プログラムロック、過昇防止器 漏電ブレーカ、ドアスイッチ、温度ヒューズ、外部警報端子 |
![](/html/upload/save_image/急速加熱冷却オーブン DKG810_810V_850_850V_m.jpg)
●温度上昇時間、下降時間を従来型よりも50%以上改善し、処理タクトを短縮しました。|●本体前面の手動ダンパー操作による、給排気が連動した全排気方式の採用により、温度下降時間の大幅な短縮を実現しています。|●マガジンラック内の試料や大量の試料の処理に適した水平気流方式ですので、有負荷でも高精度の温度性能が得られます。|●扉パッキンにフッ素ゴムを使用するなどシリコンフリーを実現しました。(DKG610V/650V/810V/850V)|●マルチ電源対応として、200~220V対応の610/610V/810/810Vと、230~240V対応の650/650V/850/850Vをラインアップしました。
該当商品が4件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
外形寸法 幅 | 使用温度範囲 | 電源 | 内容積 | 本体寸法 奥行 | 本体寸法 高さ | 本体寸法 幅 | 有効寸法 奥行 | 有効寸法 高さ | 有効寸法 幅 | 安全装置 | |||
詳細 | DKG810 | 212888 | 室温+30℃~260℃ | 単相200~220V | 300L | 696 排気ダクト含む 846mm |
1674mm | 770mm | 500mm | 1000mm | 600mm | 自己診断機能(温度センサ異常、ヒータ断線、SSR短絡、自動過昇防止機能)、キーロック機能、プログラムロック、過昇防止器 漏電ブレーカ、ドアスイッチ、温度ヒューズ、外部警報端子 |
|
詳細 | DKG850 | 212890 | 室温+30℃~260℃ | 単相230~240V | 300L | 696 排気ダクト含む 846mm |
1674mm | 770mm | 500mm | 1000mm | 600mm | 自己診断機能(温度センサ異常、ヒータ断線、SSR短絡、自動過昇防止機能)、キーロック機能、プログラムロック、過昇防止器 漏電ブレーカ、ドアスイッチ、温度ヒューズ、外部警報端子 |
|
詳細 | DKG810V | 212889 | 室温+30℃~260℃ | 単相200~220V | 300L | 696 排気ダクト含む 846mm |
1674mm | 770mm | 500mm | 1000mm | 600mm | 自己診断機能(温度センサ異常、ヒータ断線、SSR短絡、自動過昇防止機能)、キーロック機能、プログラムロック、過昇防止器 漏電ブレーカ、ドアスイッチ、温度ヒューズ、外部警報端子 |
|
詳細 | DKG850V | 212891 | 室温+30℃~260℃ | 単相230~240V | 300L | 696 排気ダクト含む 846mm |
1674mm | 770mm | 500mm | 1000mm | 600mm | 自己診断機能(温度センサ異常、ヒータ断線、SSR短絡、自動過昇防止機能)、キーロック機能、プログラムロック、過昇防止器 漏電ブレーカ、ドアスイッチ、温度ヒューズ、外部警報端子 |
![](/html/upload/save_image/小型クリーンオーブン DT300_m.jpg)
●設置場所を選ばない小型卓上型のクリーンオーブンです。|●2台重ねての使用ができます。(オプション:重ね金具使用)|●小型ながら最高使用温度は300℃の使用が可能です。|●使用電源はAC100V 15Aで使用場所を選びません。|●清浄度は温度安定時だけでなく、温度上昇・下降時もクラス100(JISクラス5)です。(DT300H型)
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
外形寸法 幅 | 使用温度範囲 | 電源 | 内容積 | 本体寸法 奥行 | 本体寸法 高さ | 本体寸法 幅 | 有効寸法 奥行 | 有効寸法 高さ | 有効寸法 幅 | 安全装置 | |||
詳細 | DT300 | 212614 | 室温+20~300℃ | AC100V 13A ブレーカ容量および電源設備容量 15A |
27l | 720mm | 840mm | 500mm | 300mm | 300mm | 300mm | 自己診断機能(センサ異常検知、ヒータ断線検知、トライアック短絡検知、メインリレー不良検知、自動温度過昇防止) キーロック機能、ドアスイッチ、独立過昇防止器、漏電ブレーカ、ファンエラー |
![](/html/upload/save_image/小型クリーンオーブン DT300H_m.jpg)
●設置場所を選ばない小型卓上型のクリーンオーブンです。|●2台重ねての使用ができます。(オプション:重ね金具使用)|●小型ながら最高使用温度は300℃の使用が可能です。|●使用電源はAC100V 15Aで使用場所を選びません。|●清浄度は温度安定時だけでなく、温度上昇・下降時もクラス100(JISクラス5)です。(DT300H型)
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
外形寸法 幅 | 使用温度範囲 | 電源 | 内容積 | 本体寸法 奥行 | 本体寸法 高さ | 本体寸法 幅 | 有効寸法 奥行 | 有効寸法 高さ | 有効寸法 幅 | 安全装置 | |||
詳細 | DT300H | 212615 | 室温+20~300℃ | AC100V 13A ブレーカ容量および電源設備容量 15A |
27l | 720mm | 840mm | 500mm | 300mm | 300mm | 300mm | 自己診断機能(センサ異常検知、ヒータ断線検知、トライアック短絡検知、メインリレー不良検知、自動温度過昇防止) キーロック機能、ドアスイッチ、独立過昇防止器、漏電ブレーカ、ファンエラー |
![](/html/upload/save_image/クリーンオーブン DE411_611_m.jpg)
●V型コントローラ搭載により操作パネルの表示視認性、操作性をアップし、電力量・CO2排出量モニタ機能などを標準装備。|●防汚キャスタの採用(輸送時、移動時の車輪汚れ防止)。|●差圧計内3色表示によりHEPAフィルタ交換時期の視認性向上。|●反相(逆相)リレー追加により据付時の電源誤配線検知による安全性向上。|●従来機に比べて製品高さ(DE/DT411タイプ約200mm低く)を変更することでユーザビリティ向上。|●従来機に比べてケーブル孔径φ30→φ33に変更(電源プラグの引込み可能)。|●従来機に比べてオプション充実(カゴ式棚板・簡易クリーンルーム対応を追加)。
該当商品が2件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
外形寸法 幅 | 使用温度範囲 | 電源 | 内容積 | 本体寸法 奥行 | 本体寸法 高さ | 本体寸法 幅 | 有効寸法 奥行 | 有効寸法 高さ | 有効寸法 幅 | 安全装置 | |||
詳細 | DE411 | 212610 | 室温+30℃~260℃ | 三相AC200V 8A ブレーカ容量および電源設備容量 15A |
91l | 1025mm | 1570mm | 700mm | 450mm | 450mm | 450mm | 自己診断機能(温度センサ異常検知、トライアック短絡検知、ヒータ断線検知、ファン異常検知、メインリレー不良検知、自動 温度過昇防止機能)、独立過昇防止器、キーロック機能、漏電ブレーカ、ドアスイッチ、反相リレー |
|
詳細 | DE611 | 212611 | 室温+30℃~260℃ | 三相AC200V 11A ブレーカ容量および電源設備容量 15A |
216l | 1175mm | 1720mm | 850mm | 600mm | 600mm | 600mm | 自己診断機能(温度センサ異常検知、トライアック短絡検知、ヒータ断線検知、ファン異常検知、メインリレー不良検知、自動 温度過昇防止機能)、独立過昇防止器、キーロック機能、漏電ブレーカ、ドアスイッチ、反相リレー |
![](/html/upload/save_image/クリーンオーブン DT411_611_m.jpg)
●V型コントローラ搭載により操作パネルの表示視認性、操作性をアップし、電力量・CO2排出量モニタ機能などを標準装備。|●防汚キャスタの採用(輸送時、移動時の車輪汚れ防止)。|●差圧計内3色表示によりHEPAフィルタ交換時期の視認性向上。|●反相(逆相)リレー追加により据付時の電源誤配線検知による安全性向上。|●従来機に比べて製品高さ(DE/DT411タイプ約200mm低く)を変更することでユーザビリティ向上。|●従来機に比べてケーブル孔径φ30→φ33に変更(電源プラグの引込み可能)。|●従来機に比べてオプション充実(カゴ式棚板・簡易クリーンルーム対応を追加)。
該当商品が2件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
外形寸法 幅 | 使用温度範囲 | 電源 | 内容積 | 本体寸法 奥行 | 本体寸法 高さ | 本体寸法 幅 | 有効寸法 奥行 | 有効寸法 高さ | 有効寸法 幅 | 安全装置 | |||
詳細 | DT411 | 212612 | 室温+30℃~360℃ | 三相AC200V 11A ブレーカ容量および電源設備容量 15A |
91l | 1025mm | 1570mm | 700mm | 450mm | 450mm | 450mm | 自己診断機能(温度センサ異常検知、トライアック短絡検知、ヒータ断線検知、ファン異常検知、メインリレー不良検知、自動 温度過昇防止機能)、独立過昇防止器、キーロック機能、漏電ブレーカ、ドアスイッチ、反相リレー |
|
詳細 | DT611 | 212613 | 室温+30℃~360℃ | 三相AC200V 15A ブレーカ容量および電源設備容量 20A |
216l | 1175mm | 1720mm | 850mm | 600mm | 600mm | 600mm | 自己診断機能(温度センサ異常検知、トライアック短絡検知、ヒータ断線検知、ファン異常検知、メインリレー不良検知、自動 温度過昇防止機能)、独立過昇防止器、キーロック機能、漏電ブレーカ、ドアスイッチ、反相リレー |
![](/html/upload/save_image/クリーンオーブン DES830_m.jpg)
●V型コントローラ搭載で操作パネルの表示視認性、操作性がアップしました。|●消費電力・CO2排出量・ヒータ操作量をモニタ表示します。|●背面吹き出しによる強制送風循環構造により、安定したクリーン度を実現しました。|●DES830型は高性能フィルタタイプ(常時クラス100、使用最高温度200℃)に変更可能です。(オプション)|●ペーパレスレコーダ(組込型)YHR150を取り付け可能です。(オプション)|●給気連動の排気ダンパ(手動あるいはオート)の2種類共に取り付けが可能です。(オプション)
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
外形寸法 幅 | 使用温度範囲 | 電源 | 内容積 | 本体寸法 奥行 | 本体寸法 高さ | 本体寸法 幅 | 有効寸法 奥行 | 有効寸法 高さ | 有効寸法 幅 | 安全装置 | |||
詳細 | DES830 | 212668 | 室温+30~260℃ | 三相 AC200V 19A(30A) | 327l | 1080mm | 1955mm | 850mm | 480mm | 1100mm | 620mm | 自己診断機能(温度センサ異常、トライアック短絡、ヒータ断線、ファン異常、メインリレー不良、自動温度過昇防止)、 キーロック機能、独立過昇防止器、漏電ブレーカ、ドアスイッチ |
![](/html/upload/save_image/クリーンオーブン DTS830_m.jpg)
●V型コントローラ搭載で操作パネルの表示視認性、操作性がアップしました。|●消費電力・CO2排出量・ヒータ操作量をモニタ表示します。|●背面吹き出しによる強制送風循環構造により、安定したクリーン度を実現しました。|●DES830型は高性能フィルタタイプ(常時クラス100、使用最高温度200℃)に変更可能です。(オプション)|●ペーパレスレコーダ(組込型)YHR150を取り付け可能です。(オプション)|●給気連動の排気ダンパ(手動あるいはオート)の2種類共に取り付けが可能です。(オプション)
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
外形寸法 幅 | 使用温度範囲 | 電源 | 内容積 | 本体寸法 奥行 | 本体寸法 高さ | 本体寸法 幅 | 有効寸法 奥行 | 有効寸法 高さ | 有効寸法 幅 | 安全装置 | |||
詳細 | DTS830 | 212669 | 室温+30~360℃ | 三相 AC200V 28A(40A) | 327l | 1080mm | 1955mm | 850mm | 480mm | 1100mm | 620mm | 自己診断機能(温度センサ異常、トライアック短絡、ヒータ断線、ファン異常、メインリレー不良、自動温度過昇防止)、 キーロック機能、独立過昇防止器、漏電ブレーカ、ドアスイッチ |
![](/html/upload/save_image/オープンチャンバー OTC-213A_m.jpg)
●特定フロンの規制に対応。独自の構造による2層および3層式エアカーテンを採用し、扉のない画期的な恒温槽として、幅広い用途があります。|●槽内に直接手を入れて作業ができ、しかも広い開口部より槽内全体が見渡せます。|●213A・2D型ともに標準でRS232C I/Fを内蔵していますので、パソコンによる遠隔制御も可能です。|●昇降温速度、温度分布精度が向上するエコノカバー(213A型はオプション)を装備しています。|●2層式(ダブルストリーム)エアカーテンを採用。外層で外気をシャットアウトし、内層は槽内温度を一定に保ちます。(OTC-213A)|●3層式(トリプルストリーム)エアカーテンを採用。槽内温度分布精度に優れ、高い評価試験を可能にします。(OTC-2D)|●オゾン層破壊係数ゼロの冷媒「R404A」を採用した冷凍機を搭載しています。|●16ステップまでの温度と時間を設定できます。(OTC-2D)※PCリモート機能を使えば213Aでも行えます(リピート機能付き)。
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
外形寸法 幅 | 使用温度範囲 | 電源 | 内容積 | 本体寸法 奥行 | 本体寸法 高さ | 本体寸法 幅 | 有効寸法 奥行 | 有効寸法 高さ | 有効寸法 幅 | 安全装置 | |||
詳細 | OTC-213A | 211366 | -15~60℃(エコノカバーなし) | 三相 AC200V±10℃(50/60Hz) | 約134L | 880mm | 1500mm | 750mm | 500mm | 400mm | 670mm | 過熱異常防止器、コンプレッサ高圧異常防止器、漏電ブレーカ、モータブレーカ、非常停止スイッチ |
![](/html/upload/save_image/オープンチャンバー OTC-2D_m.jpg)
●特定フロンの規制に対応。独自の構造による2層および3層式エアカーテンを採用し、扉のない画期的な恒温槽として、幅広い用途があります。|●槽内に直接手を入れて作業ができ、しかも広い開口部より槽内全体が見渡せます。|●213A・2D型ともに標準でRS232C I/Fを内蔵していますので、パソコンによる遠隔制御も可能です。|●昇降温速度、温度分布精度が向上するエコノカバー(213A型はオプション)を装備しています。|●2層式(ダブルストリーム)エアカーテンを採用。外層で外気をシャットアウトし、内層は槽内温度を一定に保ちます。(OTC-213A)|●3層式(トリプルストリーム)エアカーテンを採用。槽内温度分布精度に優れ、高い評価試験を可能にします。(OTC-2D)|●オゾン層破壊係数ゼロの冷媒「R404A」を採用した冷凍機を搭載しています。|●16ステップまでの温度と時間を設定できます。(OTC-2D)※PCリモート機能を使えば213Aでも行えます(リピート機能付き)。
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
外形寸法 幅 | 使用温度範囲 | 電源 | 内容積 | 本体寸法 奥行 | 本体寸法 高さ | 本体寸法 幅 | 有効寸法 奥行 | 有効寸法 高さ | 有効寸法 幅 | 安全装置 | |||
詳細 | OTC-2D | 211399 | -30~80℃(エコノカバー付きにて) | 三相 AC200V±10℃(50/60Hz) | 約300L | 1100mm | 1700mm | 1130mm | 600mm | 600mm | 810mm | 過熱異常防止器、コンプレッサ高圧異常防止器、漏電ブレーカ、モータブレーカ、非常停止スイッチ |
![](/html/upload/save_image/マッフル炉 FP102_302_312_412_m.jpg)
●炉体内に高品質のアルミナ磁器製熱板を配置することで、ヒータが炉内に露出しない構造となり、試料への汚染を防止できます。また、温度センサにR熱電対を採用して、長寿命の使用が可能です。|●プログラム運転他各種運転モードや、キャリブレーションオフセット機能、停電復帰モード選択、ユーザ設定情報の保存・呼出機能など多彩なサポート機能を標準装備しています。|●オートスタート、オートストップ運転、最大99ステップ、99パターン、繰り返しなどのプログラム運転が可能です。|●自己診断機能に加え、独立過昇防止器、キーロック機能を装備し、保全機能、誤操作防止機能を高めています。|●N2ガス導入装置(流量計付き)、温度出力端子、RS232C等、お客様の多様なご要望に対応できるオプションを揃えています。また、炉内で発生したガスを効率良く排出できる排気装置ユニットも用意しています。
![](/html/upload/save_image/電気炉 FO シリーズ_m.jpg)
●設定が容易なアップダウンキー入力で、操作性に優れたコントローラを搭載。高精度の温度制御を実現します。|●温度・時間の設定・指示値ともデジタル表示となります。|●デジタル設定の過昇防止一体型コントローラを採用。万一異常が生じた場合には常に安全側に制御する自己診断機能、過電流漏電ブレーカ等、安全機能を装備しています。|●R熱電対の温度センサにより、長寿命使用が可能です。|●操作性のよいコントローラを搭載し、プログラム操作もより簡単にできます。|●排気口を天面上部に標準装備しています。|●排気装置ユニットをはじめ、N2ガス導入装置(流量計付き)、タイムアップ出力、温度出力端子等、お客様の多様なご要望に対応できるオプションを取り揃えています。
該当商品が9件あります。
![](/html/upload/save_image/遠赤外線加熱炉(IRオーブン) DIR631_m.jpg)
●遠赤外線ヒータ(IRヒータ)を利用した高分子材料等の熱処理向けオーブンです。 |●IRを吸収しやすい高分子材料等の加熱には、処理時間の短縮に大きな効果が得られます。また、強制循環式オーブン機能を備えているため、応用範囲の広い熱処理装置としてご使用いただけます。|●IRヒータはセラミックヒータですので自己発塵がなくクリーン加熱を実現しています。|●IR効果により被加熱物を均一に加熱、品質向上が図れます。|●IR効果により高速加熱を行い、生産性向上が図れます。|●強制循環式オーブン機能により360℃の高温加熱が可能です。|●ファンコントローラを装備できますので、コンタミの少ない雰囲気が得られます。(オプション)|●内装は薬品や腐食に強いステンレス製で、常に清潔に使用できます。|●安全性|●安心の自己診断機能をはじめ、過昇防止器、過電流付漏電ブレーカ、キーロック機能、停電補償機能を標準装備しています。
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
温度勾配 | 加熱方式 | 使用温度範囲 | 重量 | 寸法 | |||
詳細 | DIR631 | 212430 | 12℃(at 360℃、IRヒータOFF時) | 室温+10~360℃ | 約250kg(架台含む) | 内槽寸法 幅600×奥行600×高さ600mm 有効寸法 幅600×奥行600×高さ200mm 外寸法 幅1200×奥行780×高さ1790mm 本体の外形寸法 幅1200×奥行780×高さ1000mm |
![](/html/upload/save_image/窒素ガス発生装置 NF300_m.jpg)
●PSA方式で高純度99~99.99%の窒素ガスを調製|●全自動で操作が簡単です。|●運転スイッチを押すだけで数分後に高純度の窒素ガスを供給します。|●スペースをとらないコンパクト設計です。|●高純度で低露点(-60℃以下)の窒素ガスが得られます。|●高圧ガス保安法、第2種圧力容器の適用範囲外です。|●除湿した水分は装置内部で処理されます。|●コンプレッサは高信頼性タイプを採用しています。|●コンプレッサの異常を検出する安全回路を内蔵しています。|●キャスタ付で移動が簡単です。
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
奥行 | 高さ | 周波数 | 電源 | 吐出圧力 | |||
詳細 | NF300 | 301031 | 400mm | 850mm | (50/60Hz) AC100V 3.9/4.2A(15A) | 窒素ガス圧力 0.05~0.3MPa |
![](/html/upload/save_image/小型プラズマ装置 PM100(低周波プラズマ装置)_m.jpg)
●小形卓上バレル式は空気を反応ガスとして使用可能|●バレル型で等方性のため、チャンバ全体にプラズマが発生します。|●周波数の低い波長を使用しているのでソフトなプラズマのためダメージが少なく生化学系に最適です。|●操作が簡単でユーティリティーもありません。|●騒音、振動、有害ガスの発生もありません。
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
詳細 | PM100 | 215015 | 内径φ100mm×L160mm | 幅310×奥行300×高さ448mm | 16kg | AC100V 10A(15A)(真空ポンプmax7A含む) |
![](/html/upload/save_image/小型プラズマ装置 PR200 (高周波プラズマ装置)_m.jpg)
●小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで|●RFは200Wの高性能出力タイプ(PR200型)です。|●装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。|●同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。(PR200型)|●プラズマリアクター(アッシング装置)(PR200型)|●バレル型で等方性
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
詳細 | PR200 | 215016 | 幅350×奥行400×高さ500mm | 25kg | AC100V 14A(15A) |
![](/html/upload/save_image/小型プラズマ装置 PR300 (高周波プラズマ装置)_m.jpg)
●小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで|●RFは200Wの高性能出力タイプ(PR200型)です。|●装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。|●同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。(PR200型)|●プラズマリアクター(アッシング装置)(PR200型)|●バレル型で等方性
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
詳細 | PR300 | 215006 | 幅438×奥行520×高さ556mm | 36kg | AC100V 7A(15A) |
![](/html/upload/save_image/小型プラズマ装置 PR301 (高周波プラズマ装置)_m.jpg)
●小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで|●RFは200Wの高性能出力タイプ(PR200型)です。|●装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。|●同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。(PR200型)|●プラズマリアクター(アッシング装置)(PR200型)|●バレル型で等方性
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
詳細 | PR301 | 215008 | 幅438×奥行520×高さ630mm | 34kg | AC100V 7A(15A) |
![](/html/upload/save_image/プラズマリアクター PR500(手動制御方式)_m.jpg)
●バレル式高周波低温プラズマでウェハのレジストに|●大口径(φ215mm)の石英チャンバーを装備|●発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ|●操作の簡単なタッチパネル方式(PR510型)
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
詳細 | PR500 | 215007 | 幅438×奥行520×高さ760mm | 60kg | AC100V 9A(15A) |
![](/html/upload/save_image/プラズマリアクター PR510(自動タッチパネル方式)_m.jpg)
●バレル式高周波低温プラズマでウェハのレジストに|●大口径(φ215mm)の石英チャンバーを装備|●発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ|●操作の簡単なタッチパネル方式(PR510型)
該当商品が1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
詳細 | PR510 | 215012 | AC200V 三相 8A(15A) |