㈱小坂研究所 全自動微細形状測定機 サーフコーダ ET200A
●表面性状解析、及び段差測定に最適
●高精度・高分解能・優れた安定性を実現
●FPD基板・ウエハー・有機EL等の微細形状、段差、粗さ測定に
●直動式検出器を搭載、微少測定力で軟質資料面測定にも対応
| ブランド名 | ｺｻｶ |
|---|---|
| 商品名 | 全自動微細形状測定機 サーフコーダ |
| 型式 | ET200A |
| 品番 | |
| スペック |
テーブルの大きさ：（ステージの大きさ）Φ160mm 回転精度 軸方向： 回転精度 半径方向： 機構・方式：作動トランス 直動式 最大測定径/積載質量：（最大サンプルサイズ）Φ160×厚さ52mm 最大測定高さ： 上下移動量：X：100 mm Y：25 mm Z：54 mm 真円度測定精度： 測定倍率：縦：50～2,000,000 倍 横：1～10,000 倍 測定力/可動範囲：10～500 μN |