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㈱小坂研究所
表面粗さ測定機 サーフコーダー

●タッチパネルとボタンスイッチで簡単操作。|●多様なパラメータに対応し、複数規格を同時解析/出力が可能。|●リアルタイムプロフィールを表示、記録。|●縦/横の自動感度校正機能を採用。|●多彩なレベリング機能を備え、R面測定、段差測定に有効。

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詳細 型式 品番 補助仕様 スペック
円すいのテーパ角度 先端曲率半径 測定速度 測定範囲X軸 適合機種 測定範囲Z軸 電源
詳細 SE300 X:25 mm Z:800 μm
㈱小坂研究所
表面粗さ測定機 サーフコーダー

●上下左右の移動速度を大幅UP|●自動測定による省人化が可能|●上下の移動量を拡大、大きなワークにも対応可能|●非接触検出器(Crispy)を接続可能|●従来機とは別次元の高速測定が可能

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詳細 型式 品番 補助仕様 スペック
円すいのテーパ角度 先端曲率半径 測定速度 測定範囲X軸 適合機種 測定範囲Z軸 電源
詳細 SE800 X:100 mm Z:600 μm 単相 AC90~240V 300VA 50/60Hz
㈱小坂研究所
真円度測定機 ロンコーダ

●特長|●心出し/傾斜調整サポート機能で、誰でも簡単操作。|●大きなセットメータと、心出し調整時の自動倍率アップで簡単操作。|●R軸オートストップ機能、クイック操作ボタンで素早い測定。|●高剛性、高負荷能力の多孔質静圧空気軸受を採用。|●安全性がよく、高い回転精度を維持。|●拡張性(外部機器接続)があり、PC解析も可能。

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詳細 型式 品番 補助仕様 スペック
テーブルの大きさ 回転精度 軸方向 回転精度 半径方向 機構・方式 最大測定径/積載質量 最大測定高さ 上下移動量 真円度測定精度 測定倍率 測定力/可動範囲
詳細 EC600 φ160 mm φ250 mm/20 kg 265 mm 260 mm 100 ~ 20,000 倍 100 mN以下 / 1800 μm
㈱小坂研究所
真円度・円筒形状測定機 ロンコーダ

●高精度の回転精度設計を誇り、操作性重視の円筒評価機能付き卓上型です。|●多孔質方式による機構は、従来の静圧軸受に比べ耐振動性、高剛性、高負荷能力などに優れており、長期間にわたって安定した回転精度が維持できます。|●操作性を考慮した当社独自の全姿勢検出器は、あらゆる測定箇所に対応できます。|●回転精度と複合させ、円筒形状の最も重要な精度である円筒度のほか、真直度、平行度などの測定ができます。|●リアルタイムで動く十字カーソルをXY微動ツマミで表示中心に一致させるだけで、心出し傾斜調整ができます。

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詳細 型式 品番 補助仕様 スペック
テーブルの大きさ 回転精度 軸方向 回転精度 半径方向 機構・方式 最大測定径/積載質量 最大測定高さ 上下移動量 真円度測定精度 測定倍率 測定力/可動範囲
詳細 EC1550H φ160 mm (0.02+0.0006R)μm (0.02+0.0004H)μm 多孔質静圧空気軸受 テーブル方式 φ368 mm/25 kg 外径 420 mm / 内径 270 mm 250 mm 100 ~ 50,000 倍 100 mN以下 / 1800 μm
㈱小坂研究所
全自動微細形状測定機 サーフコーダ

●表面性状解析、及び段差測定に最適|●高精度・高分解能・優れた安定性を実現|●FPD基板・ウエハー・有機EL等の微細形状、段差、粗さ測定に|●直動式検出器を搭載、微少測定力で軟質資料面測定にも対応

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詳細 型式 品番 補助仕様 スペック
テーブルの大きさ 回転精度 軸方向 回転精度 半径方向 機構・方式 最大測定径/積載質量 最大測定高さ 上下移動量 真円度測定精度 測定倍率 測定力/可動範囲
詳細 ET200A (ステージの大きさ)Φ160mm 作動トランス 直動式 (最大サンプルサイズ)Φ160×厚さ52mm X:100 mm Y:25 mm Z:54 mm 縦:50~2,000,000 倍 横:1~10,000 倍 10~500 μN
㈱小坂研究所
検出器

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詳細 型式 品番 補助仕様 スペック
円すいのテーパ角度 先端曲率半径 測定速度 測定範囲X軸 適合機種 測定範囲Z軸 電源
詳細 PU-DA5