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●特長|●心出し/傾斜調整サポート機能で、誰でも簡単操作。|●大きなセットメータと、心出し調整時の自動倍率アップで簡単操作。|●R軸オートストップ機能、クイック操作ボタンで素早い測定。|●高剛性、高負荷能力の多孔質静圧空気軸受を採用。|●安全性がよく、高い回転精度を維持。|●拡張性(外部機器接続)があり、PC解析も可能。
該当商品が1件あります。
| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | |||||||||
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| テーブルの大きさ | 回転精度 軸方向 | 回転精度 半径方向 | 機構・方式 | 最大測定径/積載質量 | 最大測定高さ | 上下移動量 | 真円度測定精度 | 測定倍率 | 測定力/可動範囲 | |||
| 詳細 | EC600 | φ160 mm | φ250 mm/20 kg | 265 mm | 260 mm | 100 ～ 20,000 倍 | 100 mN以下 / 1800 μm | |||||
●高精度の回転精度設計を誇り、操作性重視の円筒評価機能付き卓上型です。|●多孔質方式による機構は、従来の静圧軸受に比べ耐振動性、高剛性、高負荷能力などに優れており、長期間にわたって安定した回転精度が維持できます。|●操作性を考慮した当社独自の全姿勢検出器は、あらゆる測定箇所に対応できます。|●回転精度と複合させ、円筒形状の最も重要な精度である円筒度のほか、真直度、平行度などの測定ができます。|●リアルタイムで動く十字カーソルをXY微動ツマミで表示中心に一致させるだけで、心出し傾斜調整ができます。
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| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | |||||||||
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| テーブルの大きさ | 回転精度 軸方向 | 回転精度 半径方向 | 機構・方式 | 最大測定径/積載質量 | 最大測定高さ | 上下移動量 | 真円度測定精度 | 測定倍率 | 測定力/可動範囲 | |||
| 詳細 | EC1550H | φ160 mm | (0.02+0.0006R)μm | (0.02+0.0004H)μm | 多孔質静圧空気軸受 テーブル方式 | φ368 mm/25 kg | 外径 420 mm / 内径 270 mm | 250 mm | 100 ～ 50,000 倍 | 100 mN以下 / 1800 μm | ||
●表面性状解析、及び段差測定に最適|●高精度・高分解能・優れた安定性を実現|●FPD基板・ウエハー・有機EL等の微細形状、段差、粗さ測定に|●直動式検出器を搭載、微少測定力で軟質資料面測定にも対応
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| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | |||||||||
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| テーブルの大きさ | 回転精度 軸方向 | 回転精度 半径方向 | 機構・方式 | 最大測定径/積載質量 | 最大測定高さ | 上下移動量 | 真円度測定精度 | 測定倍率 | 測定力/可動範囲 | |||
| 詳細 | ET200A | （ステージの大きさ）Φ160mm | 作動トランス 直動式 | （最大サンプルサイズ）Φ160×厚さ52mm | X：100 mm Y：25 mm Z：54 mm | 縦：50～2,000,000 倍 横：1～10,000 倍 | 10～500 μN | |||||
●測定高さの指定で半自動測定が可能|●R41Cは、ハイコラムZ = 500 mm に対応可能（オプション）|●全姿勢検出器（オプション）を装備可能|●センタリング・チルチングサポート機能
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| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | |||||||||
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| テーブルの大きさ | 回転精度 軸方向 | 回転精度 半径方向 | 機構・方式 | 最大測定径/積載質量 | 最大測定高さ | 上下移動量 | 真円度測定精度 | 測定倍率 | 測定力/可動範囲 | |||
| 詳細 | 41C | 回転テーブル φ 148 mm | （0.04 + 6H/10000）μm （H：テーブル上面より測定点までの高さ mm） | φ 250 mm/25 kg (回転テーブル) | 標準300 mm ハイコラム500 mm |
50 ～ 100 k | ||||||
●測定高さの指定で半自動測定が可能|●R41Cは、ハイコラムZ = 500 mm に対応可能（オプション）|●全姿勢検出器（オプション）を装備可能|●センタリング・チルチングサポート機能
該当商品が1件あります。
| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| テーブルの大きさ | 回転精度 軸方向 | 回転精度 半径方向 | 機構・方式 | 最大測定径/積載質量 | 最大測定高さ | 上下移動量 | 真円度測定精度 | 測定倍率 | 測定力/可動範囲 | |||
| 詳細 | 43C | 回転テーブル φ 148 mm | （0.02 + 6H/10000）μm （H：テーブル上面より測定点までの高さ mm） | φ 250 mm/15 kg (回転テーブル) | 標準300 mm | 50 ～ 100 k | ||||||