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㈱ニコン
C N C 画像測定システム NEXIV タイプTZ 高精度モデル

●精密なステージ動作と高性能光学系により使いやすさと共に、スピーディー、かつNEXIVシリーズの最高精度での測定を実現。

スペック違いが1件あります。

詳細 型式 品番 スペック
カメラ 最小表示 作動距離 測定精度 測定範囲X軸 測定範囲Y軸 測定範囲Z軸 倍率/視野 被検物最大質量
詳細 VMZ-H3030TZ VGA 1/3“ B/W
XGA 1/3“ B/W
0.01 μm 31 mm(低倍)、11 mm(高倍) EUX, MPE, EUY,MPE: 0.6 + 2L / 1000 um
EUXY, MPE:0.9 + 3L / 1000 um
EUZ, MPE:0.9 + L / 150 um
300mm 300mm 150mm 1~120×/4.67×3.5~0.039×0.029 mm 30 kg(精度保証値:10 kg)