㈱ニコン C N C 画像測定システム NEXIV タイプTZ 高精度モデル VMZ-H3030TZ
●精密なステージ動作と高性能光学系により使いやすさと共に、スピーディー、かつNEXIVシリーズの最高精度での測定を実現。
ブランド名 | NIKON |
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商品名 | C N C 画像測定システム NEXIV タイプTZ 高精度モデル |
型式 | VMZ-H3030TZ |
品番 | |
スペック |
カメラ:VGA 1/3“ B/W XGA 1/3“ B/W 最小表示:0.01 μm 作動距離:31 mm(低倍)、11 mm(高倍) 測定精度:EUX, MPE, EUY,MPE: 0.6 + 2L / 1000 um EUXY, MPE:0.9 + 3L / 1000 um EUZ, MPE:0.9 + L / 150 um 測定範囲X軸:300mm 測定範囲Y軸:300mm 測定範囲Z軸:150mm 倍率/視野:1~120×/4.67×3.5~0.039×0.029 mm 被検物最大質量:30 kg(精度保証値:10 kg) |