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㈱ジェイテクトサーモシステム
高温イナートガスオーブン INHシリーズ
●豊富な実績をもとに無酸化雰囲気処理装置としては最高温度600℃を実現|●N2パージにより残留酸素濃度20ppm以下(※1)を達成|●冷却ブロアによる槽外冷却方式を採用|●オイルシールとシリコンシールで高い気密性を保持さらに水冷機構でシール部を熱から保護|●ガラス基板、セラミックの脱脂など、生産用として数多くの採用実績|●（※1）供給N2ガスの残留酸素濃度5ppm以下時
スペック違いが2件あります。