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ヤマト科学㈱
小型プラズマ装置 (高周波プラズマ装置)
●小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで|●RFは200Wの高性能出力タイプ(PR200型)です。|●装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。|●同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。(PR200型)|●プラズマリアクター(アッシング装置)(PR200型)|●バレル型で等方性
スペック違いが1件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
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ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
詳細 | PR301 | 215008 | 幅438×奥行520×高さ630mm | 34kg | AC100V 7A(15A) |