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㈱小坂研究所
全自動微細形状測定機 サーフコーダ
●表面性状解析、及び段差測定に最適|●高精度・高分解能・優れた安定性を実現|●FPD基板・ウエハー・有機EL等の微細形状、段差、粗さ測定に|●直動式検出器を搭載、微少測定力で軟質資料面測定にも対応
スペック違いが1件あります。
| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| テーブルの大きさ | 回転精度 軸方向 | 回転精度 半径方向 | 機構・方式 | 最大測定径/積載質量 | 最大測定高さ | 上下移動量 | 真円度測定精度 | 測定倍率 | 測定力/可動範囲 | |||
| 詳細 | ET200A | （ステージの大きさ）Φ160mm | 作動トランス 直動式 | （最大サンプルサイズ）Φ160×厚さ52mm | X：100 mm Y：25 mm Z：54 mm | 縦：50～2,000,000 倍 横：1～10,000 倍 | 10～500 μN | |||||