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ヤマト科学㈱
プラズマリアクター （自動タッチパネル方式）
●バレル式高周波低温プラズマでウェハのレジストに|●大口径（φ215mm）の石英チャンバーを装備|●発振器とチャンバー部を一体化したコンパクトタイプ|●操作の簡単なタッチパネル方式（PR510型）
スペック違いが1件あります。
| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
| 詳細 | PR510 | 215012 | AC200V 三相 8A（15A） | ||||