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ヤマト科学㈱
プラズマドライクリーナー

●研究開発に最適な小型タイプ|●RIEモード・DPモード(PDC510標準装備・PDC200/210オプション)を搭載しています。|●プラズマは均一性に優れた平行平板の電極構造を採用しています。|●操作が簡単なタッチパネル方式を採用し、データ取りも容易です。|●ゼロ点安定性真空計を搭載しています。

スペック違いが3件あります。

詳細 型式 品番 スペック
ステージサイズ W×D×H チャンバーサイズ W×D×H 外形サイズ W×D×H 質量 電源
詳細 PDC200 328210 幅250×奥行170mm 幅400×奥行250×高さ150mm 幅540×奥行600×高さ600mm 約100kg 単相 AC100V 50/60Hz 10A(15A)
電源プラグは付属しません。
詳細 PDC210 328211 幅250×奥行170mm 幅400×奥行250×高さ150mm 幅540×奥行600×高さ600mm 約105kg 三相 AC200V 50/60Hz 6A(16A)
電源プラグは付属しません。
詳細 PDC510 215054 幅400×奥行20mm 幅500×奥行300×高さmm 幅700×奥行700×高さ1285mm 約180kg 三相 AC200V 8A(16A)
電源プラグは付属しません。