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ヤマト科学㈱
プラズマクリーナ
●RIE・DPの両モードを搭載しています。|●V1000X型は独立型の2段電極の採用により、処理効率がアップします。|●プラズマ効率向上のため、特殊電極構造に変更可能です。|●高精度マッチングユニット、信頼性の高いRF電源を採用しています。|●お客様のニーズに応じた仕様も制作可能です。ご相談ください。