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●独自開発のZ E ROE D G Eスクリューが高排出力＆高耐久性を実現|●長年に亘る研究開発によって生み出されたイノベーション。|●圧倒的な機能性が、新しいビジネスの可能性を切り拓きます。|●常識を覆す機能性|●高排出力|●研究を積み重ねた独自のZEROEDGEスクリュー形状と、単段排気による短い排気経路設計により、気体と共に吸引したパーティクルを無理なく排出します。|●凝縮性ガス、凝固物、粉体、液体などの吸引物もシリンダ内や排気経路に堆積しにくい構造のため、様々なハードプロセスで他に類を見ない高い排出性を発揮します。|●高耐久性|●面シール構造のため摩耗による排気能力低下が少なく高耐久性を実現。|●接ガス部は標準でフッ素樹脂コーティングを施しています。|●またオプションで耐食メッキ仕様も選択可能。|●軸封部は独自開発の複合シール構造によって、気密性の向上と長寿命化を実現しました。|●非腐食性ガスを吸引する場合、冷却用ガスや軸シールガスは不要です。