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コフロック㈱
スタンダード マスフローコントローラ MODEL3660シリーズ

●MODEL3660シリーズは、コンパクト& ローコストをメインテーマとしたマスフローコントローラです。|●大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として、数多くの実績を持ち、多彩な派生機種、オプションを用意しております。|●改良型定電流温度差検出方式の流量センサーを搭載し高速応答を実現|●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用|●ソレノイドアクチュエーターで高信頼性を確保|●燃焼ガス制御用の低差圧仕様(LPオプション:3660のみ)

スペック違いが10件あります。

詳細 型式 品番 補助仕様 スペック
使用最大圧力 出口接続 精度 接続サイズ 接続口径 対象流体 適合流体 流量 材質
詳細 3660-1/4SW-N2-10SCCM-20℃ ±1.0%F.S.(25℃) 継手 1/4SW N2 10SCCM 接ガス部
ボディ SUS316、SUS316L、磁性ステンレス
バルブシート FKM(オプション CR or NBR)
シール材 FKM(オプション CR or NBR)
詳細 3660-1/4SW-N2-100SCCM-20℃ ±1.0%F.S.(25℃) 継手 1/4SW N2 100SCCM 接ガス部
ボディ SUS316、SUS316L、磁性ステンレス
バルブシート FKM(オプション CR or NBR)
シール材 FKM(オプション CR or NBR)
詳細 3660-1/4SW-N2-500SCCM-20℃ ±1.0%F.S.(25℃) 継手 1/4SW N2 500SCCM 接ガス部
ボディ SUS316、SUS316L、磁性ステンレス
バルブシート FKM(オプション CR or NBR)
シール材 FKM(オプション CR or NBR)
詳細 3660-1/4SW-N2-5SLM-20℃ ±1.0%F.S.(25℃) 継手 1/4SW N2 5SLM 接ガス部
ボディ SUS316、SUS316L、磁性ステンレス
バルブシート FKM(オプション CR or NBR)
シール材 FKM(オプション CR or NBR)
詳細 3660-1/4SW-N2-20SLM-20℃ ±1.0%F.S.(25℃) 継手 1/4SW N2 20SLM 接ガス部
ボディ SUS316、SUS316L、磁性ステンレス
バルブシート FKM(オプション CR or NBR)
シール材 FKM(オプション CR or NBR)
詳細 3665-3/8SW-N2-50SLM-20℃
詳細 3665-3/8SW-N2-100SLM-20℃
詳細 3660-1/4SW-N2-50SCCM-20℃
詳細 3660-1/4SW-N2-1SLM-20℃
詳細 3660-1/4SW-N2-10SLM-20℃