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コフロック㈱
スタンダード マスフローコントローラ MODEL3660シリーズ
●MODEL3660シリーズは、コンパクト& ローコストをメインテーマとしたマスフローコントローラです。|●大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として、数多くの実績を持ち、多彩な派生機種、オプションを用意しております。|●改良型定電流温度差検出方式の流量センサーを搭載し高速応答を実現|●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用|●ソレノイドアクチュエーターで高信頼性を確保|●燃焼ガス制御用の低差圧仕様(LPオプション:3660のみ)
スペック違いが10件あります。
詳細 | 型式 | 品番 | 補助仕様 | スペック | ||||||||
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使用最大圧力 | 出口接続 | 精度 | 接続サイズ | 接続口径 | 対象流体 | 適合流体 | 流量 | 材質 | ||||
詳細 | 3660-1/4SW-N2-10SCCM-20℃ | ±1.0%F.S.(25℃) | 継手 1/4SW | N2 | 10SCCM | 接ガス部 ボディ SUS316、SUS316L、磁性ステンレス バルブシート FKM(オプション CR or NBR) シール材 FKM(オプション CR or NBR) |
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詳細 | 3660-1/4SW-N2-100SCCM-20℃ | ±1.0%F.S.(25℃) | 継手 1/4SW | N2 | 100SCCM | 接ガス部 ボディ SUS316、SUS316L、磁性ステンレス バルブシート FKM(オプション CR or NBR) シール材 FKM(オプション CR or NBR) |
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詳細 | 3660-1/4SW-N2-500SCCM-20℃ | ±1.0%F.S.(25℃) | 継手 1/4SW | N2 | 500SCCM | 接ガス部 ボディ SUS316、SUS316L、磁性ステンレス バルブシート FKM(オプション CR or NBR) シール材 FKM(オプション CR or NBR) |
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詳細 | 3660-1/4SW-N2-5SLM-20℃ | ±1.0%F.S.(25℃) | 継手 1/4SW | N2 | 5SLM | 接ガス部 ボディ SUS316、SUS316L、磁性ステンレス バルブシート FKM(オプション CR or NBR) シール材 FKM(オプション CR or NBR) |
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詳細 | 3660-1/4SW-N2-20SLM-20℃ | ±1.0%F.S.(25℃) | 継手 1/4SW | N2 | 20SLM | 接ガス部 ボディ SUS316、SUS316L、磁性ステンレス バルブシート FKM(オプション CR or NBR) シール材 FKM(オプション CR or NBR) |
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詳細 | 3665-3/8SW-N2-50SLM-20℃ | |||||||||||
詳細 | 3665-3/8SW-N2-100SLM-20℃ | |||||||||||
詳細 | 3660-1/4SW-N2-50SCCM-20℃ | |||||||||||
詳細 | 3660-1/4SW-N2-1SLM-20℃ | |||||||||||
詳細 | 3660-1/4SW-N2-10SLM-20℃ |