コフロック㈱ スタンダード マスフローコントローラ MODEL3660シリーズ 3660-1/4SW-N2-5SLM-20℃

●MODEL3660シリーズは、コンパクト& ローコストをメインテーマとしたマスフローコントローラです。
●大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として、数多くの実績を持ち、多彩な派生機種、オプションを用意しております。
●改良型定電流温度差検出方式の流量センサーを搭載し高速応答を実現
●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用
●ソレノイドアクチュエーターで高信頼性を確保
●燃焼ガス制御用の低差圧仕様（LPオプション：3660のみ）