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中央精機㈱
自動 高精度高剛性 Xステージ
●機械精度を追求した超高精度の自動Xステージです。|●各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。|●原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
スペック違いが3件あります。
| 詳細 | 型式 | 品番 | 補助仕様 | スペック | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 移動方向 | 移動量 | ステージ面寸法 | 分解能 | 移動精度 | 耐荷重 | ||||
| 詳細 | ALS-105-H1S | X軸1方向 | ±25mm | 125mm×160mm | 0.002mm | 真直度（水平・垂直）0.0008mm ヨーイング・ピッチング6sec |
392N（40kgf） | ||
| 詳細 | ALS-510-H1S | X軸1方向 | ±50mm | 150mm×200mm | 0.002mm | 真直度（水平・垂直）0.001mm ヨーイング・ピッチング6sec |
490N（50kgf） | ||
| 詳細 | ALS-903-H1S | X軸1方向 | ±15mm | 90mm×100mm | 0.002mm | 真直度（水平・垂直）0.0007mm ヨーイング・ピッチング4sec |
196N（20kgf） | ||