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中央精機㈱
自動 高精度高剛性 XYステージ

●機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。|●各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。|●原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。

スペック違いが3件あります。

詳細 型式 品番 補助仕様 スペック
移動方向 移動量 ステージ面寸法 分解能 移動精度 耐荷重
詳細 ALD-105-H1S XY軸2方向 ±25mm 125mm×160mm 0.002mm 真直度（水平・垂直）0.0008mm 314N（32kgf）
詳細 ALD-510-H1S XY軸2方向 ±50mm 150mm×200mm 0.002mm 真直度（水平・垂直）0.001mm 363N（37kgf）
詳細 ALD-903-H1S XY軸2方向 ±15mm 90mm×100mm 0.002mm 真直度（水平・垂直）0.0007mm 157N（16kgf）