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ヤマト科学㈱
小型プラズマ装置 （高周波プラズマ装置）
●小型卓上バレル式高周波プラズマでサンプル表面の改質からクリーニングまで|●RFは200Wの高性能出力タイプ（PR200型）です。|●装置寸法がコンパクトのため、設置場所を選びません。|●同調、オートチューニングのため、操作が簡単です。(PR200型）|●プラズマリアクター（アッシング装置）（PR200型）|●バレル型で等方性
スペック違いが1件あります。
| 詳細 | 型式 | 品番 | スペック | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ステージサイズ W×D×H | チャンバーサイズ W×D×H | 外形サイズ W×D×H | 質量 | 電源 | |||
| 詳細 | PR300 | 215006 | 幅438×奥行520×高さ556mm | 36kg | AC100V 7A（15A） | ||