㈱ニコン C N C 画像測定システム NEXIV 高精度モデル VMZ-H3030
●精密なステージ動作と高性能光学系により使いやすさと共に、スピーディー、かつNEXIVシリーズの最高精度での測定を実現。
| ブランド名 | NIKON |
|---|---|
| 商品名 | C N C 画像測定システム NEXIV 高精度モデル |
| 型式 | VMZ-H3030 |
| 品番 | |
| スペック |
カメラ：VGA 1/3“ B/W, カラー、XGA 1/3“ B/W, カラー ＊カラーカメラはタイプ1、2、3のみ対応 最小表示：0.01 μm 作動距離：タイプ1, 2, 3: 50 mm（75度のLED照明使用時は10 mm） / タイプ4: 30 mm / タイプTZ: 31 mm（低倍）、11 mm（高倍） 測定精度：EUX, MPE, EUY,MPE： 0.6 + 2L / 1000 um EUXY, MPE：0.9 + 3L / 1000 um EUZ, MPE：0.9 + L / 150 um 測定範囲X軸：300mm 測定範囲Y軸：300mm 測定範囲Z軸：150mm 倍率/視野：タイプ1：0.5～7.5×/9.33×7.01～0.622×0.467 mm / タイプ2：1～15×/4.67×3.5～0.311×0.233 mm タイプ3：2～30×/2.33×1.75～0.155×0.117 mm / タイプ4：4～60×/1.165×0.875～0.078×0.058 mm タイプTZ：1～120×/4.67×3.5～0.039×0.029 mm 被検物最大質量：30 kg（精度保証値：10 kg） |